ABOUT THE BOOK
内容简介
《薄膜晶体管（TFT）阵列制造技术》主要介绍非晶硅（amorphous silicon， a-Si）TFT阵列大规模生产的制造技术。高质量的平板显示器的核心是薄膜晶体管（thin film transistor， TFT）矩阵的特性和制造技术。全书共13章，从TFT元件的结构及特点，到TFT检查与修复，包括TFT阵列制作清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不良解析和检查修复。《薄膜晶体管（TFT）阵列制造技术》从TFT阵列大规模制造的角度，第一次比较全面地介绍了TFT-LCD生产线的TFT阵列制造工艺技术、工艺参数、生产工艺技术管理、工艺材料规格、设备特性、品质控制、产品技术解析;以工艺原理、设备参数控制、材料特性要求、生产工艺文件要求等大规模生产技术要素为核心，比较完整地介绍了现代化信息制造业的工艺流程与工艺管理。
READING NOTES
《薄膜晶体管》读书笔记与读后感
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