《微机电系统基础》

本书循序渐进，体系严密,共分16章。第1-2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识；第4-9章分别描述了静电，热，压阻，压电，磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10-11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了与聚合物有关的MEM制造技术；根据这些敏感与执行方法以及制造方法，第13-15章选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍，包括微流控应用，用于扫描探针显微术的器件，光MEMS。第16章介绍了工艺集成问题和项目管理问题。 本书适合于微机电系统，微电子，机械工程，仪器(仪)表等专业的高年级本科生作为教材，也适合于这些领域的研究生及科技人员参考。